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磁控溅射在线检测
 | 光谱透射比在线测量系统 Filmonitor6110点击次数：2448 发布时间：2015-08-17 09:57:16 |
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产品描述
用于原片透射光谱单通道检测和真空腔室内分布式透射光谱测量。
注：此产品必须配备Filmonitor6000分析基础部分
·原片透射光谱测量
原片透射光谱测量安装于镀膜线的上片清洗后，洁净隔离室内，用于检测镀膜原片的品质及一致性，保证在镀膜工艺稳定时，原片的一致性，在镀膜加工前将不合格的原片挑出，防止由于原片的不一致导致的镀膜色差，避免不必要的原片色差超差造成的废品和生产浪费。这种情况一般发生在使用相同型号不同批号的原片玻璃，尤其是浮法玻璃生产线改色后,其灵敏的测试精度，也可以在监测与安排是否发霉的情形下，起到相当有效地作用。
·真空室内透射光谱测量
安装在生产线各个关键膜层镀制的真空隔离舱室内，对单银LOW-E检测、尤其是更加复杂的双银和三银LOW-E低辐射镀膜具有非常重要的作用，多膜层的复杂结构，如果单一膜层发生工艺偏差，如果没有每个膜层的测量，找出原因将是非常复杂和耗时的，真空室内透射光谱测量可以通过对每一层膜光谱的控制，最终可以对LOW-E低辐射镀膜的颜色和性能进行严格控制。检测每一层的光谱曲线，并与预设的目标曲线比对，对每层膜的准确控制才能得到优质的镀膜品质，并可以指导生产工艺、新产品的研发以及全面的质量管理，被用户形象的称为真空室内的“眼睛”。
规格参数：
注：此产品必须配备Filmonitor6000分析基础部分
·原片透射光谱测量
原片透射光谱测量安装于镀膜线的上片清洗后，洁净隔离室内，用于检测镀膜原片的品质及一致性，保证在镀膜工艺稳定时，原片的一致性，在镀膜加工前将不合格的原片挑出，防止由于原片的不一致导致的镀膜色差，避免不必要的原片色差超差造成的废品和生产浪费。这种情况一般发生在使用相同型号不同批号的原片玻璃，尤其是浮法玻璃生产线改色后,其灵敏的测试精度，也可以在监测与安排是否发霉的情形下，起到相当有效地作用。
·真空室内透射光谱测量
安装在生产线各个关键膜层镀制的真空隔离舱室内，对单银LOW-E检测、尤其是更加复杂的双银和三银LOW-E低辐射镀膜具有非常重要的作用，多膜层的复杂结构，如果单一膜层发生工艺偏差，如果没有每个膜层的测量，找出原因将是非常复杂和耗时的，真空室内透射光谱测量可以通过对每一层膜光谱的控制，最终可以对LOW-E低辐射镀膜的颜色和性能进行严格控制。检测每一层的光谱曲线，并与预设的目标曲线比对，对每层膜的准确控制才能得到优质的镀膜品质，并可以指导生产工艺、新产品的研发以及全面的质量管理，被用户形象的称为真空室内的“眼睛”。
规格参数：
