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磁控溅射在线检测
 | 光谱透反射比在线扫描测量系统 Filmonitor6300点击次数：2693 发布时间：2015-08-05 15:23:49 |
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产品描述
用于磁控溅射镀膜成品综合性能测量的在线测量仪器
注：此产品必须配备Filmonitor6000分析基础部分
本设备安装在出片台处，通过全面的扫描测量可以对最终成品进行全面的颜色色差测量与评定，在双银和三银Low-E低辐射镀膜时，对该部分检测又提出了新的要求，双银和三银Low-E膜层更加复杂，通过多层干涉作用，非常容易出现各个角度的色差差异，这个色差被称为偏角色差，比如垂直小角度（10度以内）无色差，而在45度角时具有非常明显的色差，这样在成品检测时需要就增加玻璃面的45度角偏角色差监控，其作用就是控制膜层在正视和斜视方向上满足色差检验要求。在现有的双银生产厂家中已经发生了偏角色差过大，从而索赔的问题。偏角色差测量的问题已经得到了现有生产厂家的认可，并将其作为必检项目。
在实际生产调试过程中，对于大板面的生产线玻璃镀膜横向均匀性控制的难度更大，除了成品低辐射镀膜玻璃的板面各个位置的色差要求外，低辐射率的均匀性要求更加凸显，这使得在线面电阻均匀性测量在大板面低辐射镀膜中也更加重要。所以面电阻的在线测量已经成为高档低辐射镀膜生产线的标准配置。
特性：
设备采用网络化控制技术，配置灵活；
自动动态校准技术，设备长时间无漂移；
特殊设计的校准样品盒，避免粉尘污染样品；
自主开发软件控制系统，适合行业用户使用习惯；
开放控制接口，方便与镀膜控制系统联动控制；
系统有自检功能，有故障报警及故障记录；
系统性能、功能与控制计算机性能无关，
方便用户计算机维修更换和升级。
规格参数：
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